Brand: AMAT Description:CMP Endpoint Controller Board Condition: Brand New Certificate: COO TEST REPORT WARRANTY LETTER Warranty: 1 year Inventory Qty:3 Payment Term: T/T Shipping Port: Shenzhen AMAT 0100-77014 is a control module used in semiconductor manufacturing equipment. It is mainly used for signal processing, system communication and process monitoring. It is integrated into the AMAT equipment platform to ensure stability and real-time performance.
| Produzione |
Molto |
| Numero modello |
0100-77014 |
| Paese di origine |
U.S.A. |
| Codice HS |
85389000 |
| Dimensione |
25*15*3cm |
| Dimensione di imballaggio |
27*17*5cm |
| Peso |
1 kg |
Parametri tecnici
Tensione di ingresso: DC 24V ± 10%
Consumo energetico: ≤15W
Tensione di resistenza dell'isolamento: 1500 V AC/1min
Interfaccia di comunicazione: RS-232/RS-485, Ethernet (10/100 Mbps)
Temperatura operativa: da 0 ° C a 50 ° C
Supporto ingresso/output analogici 4-20MA
I/O digitale: 8 canali
Frequenza di campionamento: 1kHz
Precisione: ± 0,1% FS
Livello di protezione: IP67
Metodo di installazione: binario DIN o pannello fisso
Caratteristiche funzionali
1. Monitoraggio e feedback dei processi in tempo reale
AMAT 0100-77014 monitora i parametri chiave come temperatura, pressione, portata, ecc. In tempo reale attraverso il modulo di acquisizione di dati ad alta velocità e regola dinamicamente i parametri di processo in combinazione con algoritmi integrati per garantire la coerenza del wafer
2. Comunicazione ridondante e design ad alta affidabilità
0100-77014 Supporta la comunicazione ridondante a doppio link (RS-232 + Ethernet), commutazione automatica tra dispositivi master e standby, garantendo zero funzionamento di tempo di inattività di AMAT 0100-77014 nella produzione continua 24/7
3. Compatibilità multi-protocollo e integrazione del sistema
Compatibile con protocolli industriali come DNET e Modbus TCP, perfettamente collegati al sistema informatico host di AMAT Endura, Centura e altre piattaforme, per ottenere una gestione centralizzata dei dati di processo
4. Protezione da sicurezza e collegamento allarme
AMAT 0100-77014 ha un circuito di protezione da sovratensione/sovracorrente incorporato, supporta la sveglia della soglia (legame su suono e luce/PLC), per prevenire i danni alle attrezzature dovuti a condizioni di lavoro anormali di lavoro
Scenari di applicazione
1. Processo di impianto di ioni ad alta energia
Utilizzato per il sistema di controllo della dose dell'impiante ionico Viista 3000xp/900xp, calibrazione in tempo reale dell'angolo del raggio e uniformità della dose
2.PVD Monitoraggio della deposizione in metallo
Monitorare la temperatura target di sputtering e la pressione della camera del vuoto nella piattaforma Endura per ottimizzare il tasso di deposizione di film Tin/TI.
3.CVD Controllo del flusso di gas
Integrato nella camera di reazione Centura 5200, regolare dinamicamente il flusso di gas di processo come TEOS e SIH₄ per garantire la consistenza dello spessore del film
