Molto 0100-20004

Tensione di ingresso: 100–240 V AC

Tensione di uscita: 24 V DC

Interfaccia di comunicazione: Ethernet (10/100Base-T), RS-485 (Tasso di baud 9600-115200BPS)

Temperatura operativa: da -10 ℃ a 60 ℃

Tasso di campionamento dei dati: 100 Hz

Livello di protezione: IP20

Metodo di installazione: guida per guida o fissaggio a vite

Intervallo di input: da -10v a +10v

Canale digitale: 16 input/output isolato (supporto TTL/CMOS)

Supporto del protocollo: Modbus TCP, DNET

Caratteristiche funzionali

1. Hub di routing del segnale multi-sistema

AMAT 0100-20004, in quanto scheda di interconnessione core, integra la funzione di routing del segnale ad alta densità per ottenere l'interazione dati senza soluzione di continuità tra controller della camera, sensore e unità di controllo principale, ridurre la complessità del cablaggio e migliorare la velocità di risposta

2. Garanzia anti-interferenza e stabilità

Triplo schermatura elettromagnetica Tec7hnology e progettazione di alimentazione isolata vengono utilizzati per garantire che AMAT 0100-20004 funzioni stabilmente in un ambiente radio ad alta tensione (RF) e il tasso di errore del segnale è inferiore allo 0,001%

3. Monitoraggio e diagnosi del processo in tempo reale

0100-20004 Il motore di acquisizione dei dati in tempo reale supporta il monitoraggio dinamico e l'allarme anormale dei parametri di processo (temperatura, pressione, flusso), aiutando AMAT 0100-20004 a raggiungere la manutenzione predittiva e ridurre il rischio di inadempienze dell'attrezzatura

4. Ottimizzazione rapida di integrazione e compatibilità

Fornire interfacce standardizzate e configurazione plug-and-play, compatibile con AMAT CENTURA 5200, Endura 5500 e altre piattaforme, accorciando il ciclo di debug delle apparecchiature di oltre il 30%

Scenari di applicazione

1. Processo di impianto ionico

Utilizzato per l'integrazione del segnale della camera degli impianti ionici Viista 3000XP/900XP per ottenere il controllo degli angoli e la calibrazione della dose

2. Equipaggiamento per la deposizione di film sottile

Flusso di gas percorsi, segnali di potenza e temperatura RF nel sistema Centura CVD/PVD per garantire l'uniformità del film

3. Controllo del sistema a vuoto

Collegare il manometro sotto vuoto, la pompa molecolare e l'unità di raffreddamento per monitorare il grado di sottovalutazione e la sveglia in tempo reale (come la piattaforma endura)

4. Automazione del trasferimento di wafer

Guidare i bracci robotici (come il braccio di recupero) e i sistemi di posizionamento del wafer per migliorare l'accuratezza della trasmissione e l'efficienza della velocità