Brand: AmatDescrizione: scheda della scheda a semiconduttoreCONDIZIONE: nuovo di zeccaCertificato: lettera di garanzia del rapporto di test COOGaranzia: 1 annoInventario QTY: 9Termina di pagamento: t/tPorta di spedizione: ShenzhenCome scheda di scheda a semiconduttore, AMAT 0100-77040 garantisce l'accuratezza del posizionamento dei wafer durante il trasferimento ad alta velocità e garantisce l'affidabilità della sigillatura del vuoto attraverso la regolazione dinamica della pressione dell'aria chiusa e la risposta del segnale a livello millisecondo.
| Produzione |
Molto |
| Numero modello |
0100-77040 |
| Paese di origine |
U.S.A. |
| Codice HS |
85389000 |
| Dimensione |
12*12*2cm |
| Dimensione di imballaggio |
14*14*4cm |
| Peso |
0,5 kg |
Parametri tecnici
Tensione di ingresso: 100–240 V AC
Interfaccia di comunicazione: Ethernet, RS-485 (
Intervallo di temperatura operativa: da -10 ℃ a +60 ℃
Livello di protezione: IP20
Tempo di risposta: ≤5ms
Pressione pneumatica compatibile: 0,5-1,0MPA
Vita meccanica: ≥1 milioni di cicli
Caratteristiche funzionali
1. Controllo dell'unità pneumatica ad alta precisione
AMAT 0100-77040 utilizza la tecnologia di feedback a circuito chiuso per regolare il grado di apertura e chiusura e la produzione di pressione delle valvole pneumatiche in tempo reale per garantire l'accuratezza a livello di millimetro delle azioni di attuatori come il trasferimento di wafer per il trasferimento di armi robotiche e le foche della camera e ridurre il rischio di danni da wafer.
2. Integrazione di comunicazione industriale multi-protocollo
0100-77040 Supporta i protocolli Ethernet, RS-485 e Devicenet per ottenere un docking senza soluzione di continuità con i principali sistemi di controllo di AMAT Centura, Endura e altre piattaforme. AMAT 0100-77040 può trasmettere in modo sincrono i dati sullo stato dell'apparecchiatura all'unità di monitoraggio centrale per migliorare il livello di automazione dell'intera macchina.
3. Anti-diagnosi anti-interferenza e faglia
Il circuito di schermatura elettromagnetica integrata e il design del circuito ridondante possono resistere efficacemente alle interferenze a radiofrequenza (RFI) e alle fluttuazioni dell'alimentazione; Ha una funzione di rilevamento dei guasti in tempo reale, che può innescare allarmi audio e di luce e registrare i codici di errore quando anormale, accorciando il ciclo di manutenzione.
4 distribuzione rapida modulare
AMAT 0100-77040 adotta una struttura di installazione di slot di scheda standardizzata, compatibile con l'unità pneumatica della testa di apparecchiature come AMAT P5000 e VIista Ion Implant Platform, supporta la sostituzione del bagliore a caldo e riduce in modo significativo le attrezzature di inattività
Scenari di applicazione
Sistema di trasferimento di wafer: guidare la pneumatica pinza del braccio robotico per ottenere un trasferimento di wafer ad alta velocità tra la camera del vuoto e il blocco di carico (come apparecchiature PVD/CVD)
Controllo di tenuta della camera di processo: regolare la valvola del gate (valvola a fessura) per mantenere lo stato di isolamento del vuoto della camera di incisione/deposizione
