Brand: AmatDescrizione: Modulo di interfaccia da cameraCONDIZIONE: nuovo di zeccaCertificato: lettera di garanzia del rapporto di test COOGaranzia: 1 annoInventario QTY: 3Termina di pagamento: t/tPorta di spedizione: ShenzhenAMAT 0100-35054 è un modulo di interfaccia da camera che monitora lo stato operativo dell'attrezzatura in tempo reale per garantire che la camera di processo al plasma innesca automaticamente il meccanismo di interblocco di sicurezza in condizioni anormali.
| Produzione |
Molto |
| Numero modello |
0100-35054 |
| Paese di origine |
U.S.A. |
| Codice HS |
85389000 |
| Dimensione |
25*10*2cm |
| Dimensione di imballaggio |
27*12*4cm |
| Peso |
0,8 kg |
Parametri tecnici
Tipo di interfaccia: compatibile con bus VME, supporta la trasmissione di dati paralleli a 16 bit.
Tensione operativa: 24 V CC ± 5%, carico di corrente massima 2A.
Temperatura operativa: da -10 ° C a 70 ° C.
Livello di protezione: IP20.
Tempo di risposta del segnale: ≤5ms, garantendo un rapido innesco di interblocco
Caratteristiche funzionali
1. Protezione della sicurezza potenziata:
AMAT 0100-35054 integra più canali di ingresso del sensore, che possono monitorare sincroni pressione della camera, flusso di gas e parametri di temperatura. Una volta rilevato un valore eccessivo, l'alimentazione viene immediatamente interrotta e la fonte di pericolo viene isolata per garantire la sicurezza delle attrezzature e degli operatori
2. Ottimizzazione della compatibilità del sistema:
0100-35054 è compatibile con i sistemi di controllo di AMAT Endura, Centura e altre serie di apparecchiature per la deposizione di vapore fisico (PVD) e la deposizione di vapore chimico (CVD), supportando la configurazione plug-and-play senza la necessità di driver aggiuntivi
3. Alta stabilità e anti-interferenza:
AMAT 0100-35054 adotta la progettazione del circuito ridondante e il rivestimento di schermatura elettromagnetica, che può mantenere zero falsi allarmi della trasmissione del segnale in un ambiente RF ad alta tensione (come l'attacco ICP) e il tasso di guasto è inferiore allo 0,01%.
4.Nettabilità e funzioni diagnostiche:
Indicatore di stato LED di bordo e supporto per l'interfaccia diagnostica Lettura del codice di errore remoto. Il personale di manutenzione può individuare rapidamente le parti del problema attraverso il software dedicato di AMAT (come Applied Produder®) per abbreviare i tempi di inattività
Scenari di applicazione
Processo di attacco al plasma:
Nell'attimento elevato di proporzioni della memoria NAND 3D, viene effettuato il monitoraggio in tempo reale della pressione della camera per prevenire lo scarico dell'arco causato dall'accumulo di sottoprodotto
Deposizione di film in metallo:
Per i processi di interconnessione in rame (come Endura Alps PVD), durante lo sputtering vengono rilevate perdite di gas per evitare la contaminazione del film
Processo di pulizia della camera:
Durante il ciclo di manutenzione dell'attrezzatura CVD, l'avvio automatico e l'arresto della pulizia del plasma NF₃ vengono attivati per garantire che i residui vengano completamente rimossi
