Molto 0100-09196

Parametri tecnici

Standard del bus: architettura Bus VME, supporta la trasmissione sincrona di dati ad alta velocità.

Tipo di interfaccia: porta I/O digitale, compatibile con la logica a livello di TTL/CMOS, supporta l'elaborazione del segnale parallela multicanale.

Specifiche del consiglio:

Scheda PCB in formato VME standard;

Circuito di isolamento del segnale di bordo, livello anti-interferenza ≥2,5 kV;

Tensione di lavoro: +5 V CC ± 5%, consumo di energia di picco ≤15 W.

Adattabilità ambientale:

Temperatura di lavoro: da 0 ° C a 55 ° C;

Temperatura di conservazione: da -40 ° C a 85 ° C;

Tolleranza all'umidità: dal 5% al ​​95% (non condensa).

Caratteristiche funzionali

1. Capacità di elaborazione del segnale in tempo reale

AMAT 0100-09196 può raggiungere il ritardo della risposta di microsecondi attraverso l'ottimizzazione del campionamento del segnale a livello di hardware, garantire la sincronizzazione dei dati del sensore e le istruzioni dell'attuatore e migliorare significativamente l'accuratezza del controllo del processo delle apparecchiature a semiconduttore

2. Design anti-interferenza di livello industriale

Utilizzando la tecnologia di schermatura elettromagnetica e isolamento, AMAT 0100-09196 può ancora funzionare stabilmente in un ambiente a radiofrequenza ad alta tensione (RF) per evitare il malfunzionamento dell'attrezzatura causata dalla crostak del segnale

3. Supporto di espansione modulare

La scheda ha slot di espansione riservata, che possono essere direttamente compatibili con i moduli di controllo della serie AMAT (come 0100-70034 VGA Interconnection Board), supportando gli utenti a configurare in modo flessibile il numero di canali I/O in base ai requisiti della linea di produzione

4. Integrazione della comunicazione multi-protocollo

Lo stack del protocollo Modbus RTU/TCP incorporato consente a AMAT 0100-09196 di accedere perfettamente a reti industriali come PLC e SCADA e realizzare la collaborazione delle apparecchiature multipiattaforma e il monitoraggio remoto

Scenari di applicazione

Processo di incisione a semiconduttore: controllo sincrono della valvola di flusso del gas della camera e dell'alimentazione RF Avvia e tempistica di arresto;

Attrezzatura per rivestimento a vuoto: gestire il rilevamento della posizione del robot di trasmissione del substrato e il segnale di stato del gruppo di pompe per vuoto;

Sistema di ispezione del wafer: raccogliere i dati del sensore ottico e attivare l'azione del robot di ordinamento;

Deposizione di vapore chimico: monitorare il gradiente di temperatura della camera di reazione e regolare la potenza del riscaldatore in tempo reale